村田制作所的MEMS传感器是强大的硅电容传感器。利用村田制作所的3D MEMS技术，传感器惯性力是非常敏感的，但其他的环境变量是不敏感的。单晶硅和玻璃的组合物，确保可靠性，准确性和稳定性。村田MEMS密封在晶圆级的过程中，从颗粒和化学品提供保护。该产品线包括加速度计，陀螺仪和倾角。

村田加速度计，旨在测量方向是平行或垂直于安装平面，包括一个片上的EEPROM存储器单元的校准系数的互换性。这些传感器，用于与水平或垂直方向的测量，提供了增强的故障检测以及零点温度依赖性小于1mg /℃。

村田制作所组合传感器包括一个三轴陀螺仪和一个三轴加速度计。这些组合的传感器是适合于用在汽车和其他高精密的应用场合是苛刻的环境条件，包括温度变化和高振动。

村田制作所测斜仪提供最佳的冲击，即使在​​非常高振动环境中的耐用性和精度最高的MEMS市场上的。村田制作所测斜仪针对移动机器，车辆，飞机，工程机械，和手持设备的高精确度的流平性和倾斜测量。

具体参数如下：